1 总体设计
电容式传感器的检测方法主要有:设计**ASIC芯片;使用分立元件通过电容桥、频率测量等原理实现测量;使用通用电容检测芯片将电容转换为电压或其他量等。从技术难度、测量精度等多方面考虑,芯片缺陷影像检验机,本系统采用集成电容检测芯片来完成对电容式传感器的检测。系统结构框图如图1所示。电容检测芯片选用Irvine Sensor公司的MS3110。MS3110将电容量转换为电压量输出(量程为0~10 pF)。单片机MSP430F149集成的12位A/D转换器对输出电压进行采样,并通过I/O端口对MS3110内部寄存器进行设置。数据经采样后通过串口传送到上位机进行处理、实时显示、存储等。上位机由普通微机构成。
4、可以实现非接触测量,具有平均效应
当被测件不允许接触测量时,电容式传感器可以进行非接触测量。这种情况下,电容式传感器具有平均效应,半导体元件影像检验机,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除上述优点之外,还因带电极板间的静电引力较小,因此所需输入能量较小,微型零件影像检验机,特别适宜低能量输入的测量,例如测量较低的压力、力和很小的加速度、位移等,影像检验机,可以做得很灵敏,分辨力非常高,能感受。0.Olmm甚至更小的位移。